真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

    該真空系統(tǒng)出廠(chǎng)時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。

    真空系統(tǒng)自啟動(dòng)后，全部運(yùn)行過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據(jù)用戶(hù)要求進(jìn)行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達(dá)到                                                 

流程工藝
    xx臺(tái)真空泵啟動(dòng)后達(dá)不到設(shè)定所需真空時(shí)第二臺(tái)真空泵啟動(dòng)至達(dá)到設(shè)定的真空值。當(dāng)達(dá)到所需設(shè)定值后***臺(tái)真空泵停止接著第二臺(tái)真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統(tǒng)可在無(wú)人操作情況下對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)控制，在停電時(shí)可自動(dòng)封閉真空系統(tǒng)。同時(shí)控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過(guò)載及短路。

 工作原理
    啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求。

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